Optical / electronic hybrid mounting substrate and its manufacturing method, and optical submodule and optical / electronic hybrid integrated circuit

Abstract

Abstract Translated from Japanese (57)【要約】 【目的】 低損失光導波路機能、高精度光学ベンチ機能 および高周波電気配線機能を満足するハイブリッド光集 積回路、該回路に適用可能な光実装基板および光サブモ ジュールを提供することを目的とする。 【構成】 上記機能を合わせ持つハイブリッド光集積実 装基板を実現するために、石英系光導波路の膜厚を最適 条件とする。凹凸を有する基板の凹部に誘電体光導波路 を形成し、凸部に光素子搭載部を形成し、誘電体光導波 路上に電気配線層を形成する。凸部を２分割し、その間 に誘電体光導波路を形成し、その上に電気配線層を形成 する。光素子は光サブモジュールに固定して搭載する。 (57) [Abstract] [PROBLEMS] To provide a hybrid optical integrated circuit satisfying a low-loss optical waveguide function, a high-precision optical bench function, and a high-frequency electrical wiring function, an optical mounting substrate and an optical submodule applicable to the circuit. With the goal. [Structure] In order to realize a hybrid optical integrated mounting board having the above-mentioned functions, the film thickness of the silica-based optical waveguide is set as an optimum condition. A dielectric optical waveguide is formed in a concave portion of a substrate having irregularities, an optical element mounting portion is formed in the convex portion, and an electric wiring layer is formed on the dielectric optical waveguide. The convex portion is divided into two, a dielectric optical waveguide is formed between them, and an electric wiring layer is formed thereon. The optical element is fixedly mounted on the optical submodule.

Inventors

• 👤 Yasubumi Yamada
• 👤 泰文 山田
• 👤 Shinji Mino
• 👤 真司 美野
• 👤 Hiroshi Terui
• 👤 博 照井
• 👤 Kaoru Yoshino
• 👤 薫 吉野
• 👤 Kuniharu Kato
• 👤 邦治 加藤
• 👤 Kazuyuki Moriwaki
• 👤 和幸 森脇
• 👤 Akio Sugita
• 👤 彰夫 杉田
• 👤 Ikuo Ogawa
• 👤 育生 小川
• 👤 Masahiro Yanagisawa
• 👤 雅弘 柳澤
• 👤 Toshikazu Hashimoto
• 👤 俊和 橋本

Bibliographic Details