Method of measuring roughness of surface

Abstract

Abstract Translated from Russian Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть использовано дл  контрол  шероховатости поверхности при металлообработке. Цель изобретени  - расширение информативности и повышение точности измерени  за счет возможности измерени  не только сверхгладких поверхностей, но и в случае шероховатой поверхности, за счет определени  отношени  коэффициентов ослаблени  зеркальной составл ющей контролируемой к эталонной поверхности соответственно методом, обеспечивающим минимальные погрешности, вносимые диффузионной составл ющей, а также исключени  вли ни  оптических свойств материала на результаты измерений путем выравнивани  полных интенсивностей дифракционных спектров контролируемой и эталонной поверхностей, а средне-квадратичную высоту микронеровностей определ ют по формуле. Далее дополнительно осуществл ют коррекцию значений интенсивности дифракционного пространственно-частотного спектра по значени м интенсивности фоновой засветки. Дл  исключени  вли ни  различий коэффициентов отражени  эталлонной и контролируемой поверхностей, которые возникают из-за различий оптических свойств материалов, из которых изготовлены эти поверхности, осуществл ют выравнивание полных интенсивностей дифракционных спектров контролируемой и эталонной поверхностей. 2 з.п.ф-лы, 2 ил. The invention relates to a measurement technique and can be used to control the surface roughness during metalworking. The purpose of the invention is to expand the information content and increase the accuracy of measurement due to the possibility of measuring not only ultra-smooth surfaces, but also in the case of a rough surface, by determining the ratio of the attenuation coefficients of the mirror component to the reference surface, respectively, providing the minimum errors introduced by the diffusion component, as well as eliminating the influence of the optical properties of the material on the measurement results by equalizing the total diffraction intensities spectra and the reference controlled surfaces and mid-height quadratic microroughness determined by the formula. Further, the intensity values of the diffraction spatial-frequency spectrum are additionally corrected according to the backlight intensity values. To eliminate the effect of differences in the reflection coefficients of the reference and controlled surfaces, which arise due to the differences in the optical properties of the materials from which these surfaces are made, the total intensities of the diffraction spectra of the test and reference surfaces are aligned. 2 hp ff, 2 ill.

Inventors

• 👤 Владимир Александрович Остафьев
• 👤 Сергей Петрович Сахно
• 👤 Григорий Семенович Тымчик

Bibliographic Details